低温泵又叫
冷凝泵，是一种利用低温表面捕集气体的真空泵，具有能抽出水或油蒸气(汽)、获得清洁真空、极限真空度高(10
-11—10
-13帕)、抽速大(10
3—10
6升/秒)能抽出各种气体、占地面积少、安装灵活性大等优点，但是需要冷剂。主要用于航天技术、低压风洞、超高真空规管校准和镀膜机的超高真空机组中。
1.低温泵按吸气原理可分为三类：
(1)低温冷凝泵，利用低温表面使气体凝结。
(2)低温吸附泵，利用低温表面上的吸附剂吸附气体，根据吸附剂不同又可分为非金属吸附泵(活性炭、分子筛等为吸附剂)、金属吸附泵(蒸发或升华在冷面上的钛、钽、钼等金属或其合金为吸气剂)、气体霜吸附泵(二氧化碳、水蒸汽等气体在低温表面上凝结的同时，将不易冷凝气体吸附抽除)。
(3)低温冷凝和吸附联合抽气的低温泵，按供给低温介质的方式又可分为贮槽式、连续流动式和闭循环小型制冷机低温泵。
2.低温泵的安装和运行要求
(1)安装低温泵时，严禁泵的零部件沾上水和油脂，必须用溶剂清洗干净，干燥后再进行装配。
(2)为避免影响低温泵的吸人性能，泵本身和泵的吸人管线都必须有保冷措施，防止泵在运行中从外界吸人热量使液体汽化。
(3)低温泵及其装置投入运行前需要清洗干净，然后用干燥的氮气等进行清扫，除去泵内的水分和空气，并进行预冷。
(4)低温泵的吸入口和吸入管路应有排气装置，使泵在运行前或运行中能及时排除逐渐积存的气体，保证低温泵可靠地工作。
